智能马弗炉的漏气现象排查及维修方法分享

　　智能马弗炉是一种主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备。它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程，也可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。

 

　　如果智能马弗炉出现了故障导致钎焊出现问题，会直接影响工件的质量与效果，下面简单介绍一下如何排查该设备哪里漏气及维修方法：

 

　　1、先有检漏仪检查是否漏气，如果经检过检漏，真空规管处的保护阀门存在漏气的问题，则更换该阀门。

 

　　2、查看轴承磨损情况，如果磨损严重，应更换该轴承。

 

　　3、如果经过检查主阀阀杆密封、预抽阀、放气阀、气动球阀和炉门密封都存在不同程度的漏气现象，则需要查看主阀阀杆密封、炉门大圈密封圈是否出现老化或者产生裂纹，如果有老化严重或者产生裂纹，就会导致漏气，因此更换相应的密封圈。密封圈可以选用耐高温、耐各种介质的氟橡胶材料的密封圈。

 

　　4、以上检查如果不存在问题，接下来可以对热电偶金属封头处进行检漏，由于测漏的反应时间比较长，如果热电偶金属封头附近存在非常微小的漏气点，很容易被忽略。对此应采用一种特殊的方法：先用塑料袋将偶丝密封处包起来，再将氦气通入塑料袋中进行检漏。经上述方法的检测，如果发现热电偶自身密封处有漏气现象，应更换新的热电偶。

 

　　5、然后按照维修方案的规定对充气组阀进行检查，如果发现充气组阀中的补气阀存在漏气问题，应将该阀门进行更换。